第567章 故障排除靠重启（5400）

(小说屋 www.xiaoshuoge.info)    巨大的新风管道呼呼作响，将绝对清洁的空气送进厂房之内。

    一名身穿全身无尘服的研究员指着那台跟没有窗户的铁房子似的设备，给同样身穿无尘服的方豫做着讲解。

    通过无尘服的透明面罩，能看到张博士的那张圆脸。

    “周微电子的ICP-RIE等离子蚀刻机上周刚刚到货，现在正在装配，Compact-300薄膜沉积系统大概还要一周左右。”

    张博士的头圆脸也圆，但不是胖，就是圆，看上去年纪并不大，眼袋却非常严重，明显是长期没睡好。

    “这边主要是前道工艺的区域，要求的洁净度非常高，蚀刻机、圆晶AOI和探针台都在这个区域，洁净度低于Class10。”

    张博士带着二人，一边走，一边指着通道两侧的设备介绍道。

    宁雨好奇的扭头看了看，光刻机？蚀刻机？那是什么？

    没看到什么机器啊，只看到一排排灰色铁房子一样的东西。

    “Orbotech自动光学检测机基本已经调试完毕了。”

    “这批货算是捡了个便宜，Orbotech应该正在谈被收购，全力做高营收，拉高估值，钱到位，什么都敢卖。”

    张博士嘿了一声，语气中颇为不屑。

    “百分之六十的生产设备现在都可以做到国产化替代，但关键设备都没办法国产。”

    “不只是DUV和EUV光刻机，包括CMP化学机械抛光、晶圆封装、MEMS封装/传感器对准、MTF测量……全都只能高价买二手。”

    说着，穿过两排设备区，前方又出现一道带有红色隔离标识的门。

    张博士摘下挂在胸前的工牌对着感应器一刷，又在虹膜识别器前稍一俯身。

    “权限已确认。”人工语音响起，门发出了“噗嗤”一声，自动打开。

    看到门内是一条长长的甬道，四壁和顶部全是各种喷口的孔洞，宁雨就忍不住有点紧张。

    刚刚不是喷过一次了吗？还要喷啊？

    进入前道工艺车间前，张博士就带着穿好无尘服的二人进行了一次风淋，当时风淋间内巨大的气流声甚至让宁雨有种窒息的感觉。

    明明穿着无尘服，呼吸也不受影响，但感受到超强的气流将无尘服吹的猎猎作响，还是让宁雨感觉有些紧张。

    “DUV要求的洁净度更高，所以必须进行二次风淋。”

    张博士稍稍解释了一句，随后锁紧内门，四壁喷嘴立刻摆动着喷出高速离子风，呼啸着冲刷三人的无尘服，带走可能残留的微尘。

    所不同的是，这次的气流声音更大，比刚刚进入前道工艺车间时更加猛烈，时间也更长，足足喷了半分多钟。

    宁雨可能有点幽闭恐惧，下意识的伸手捏住了方豫的无尘服。

    方豫侧头看了她一眼，突然伸手在她后背安慰似的拍了拍。

    宁雨不由得身体一震，下意识的看向被无尘服包裹得严严实实的方豫。

    透过双层面罩，宁雨似乎看到同样被包裹得严严实实的方豫对自己笑了一下。

    宁雨身体一震，一股异样的情绪从心底滋生出来。

    这种情绪非常特别，痒痒的，怪怪的，像是有一只小猫在心中抓啊抓的，还时不时伸出爪尖，轻轻勾一下，又迅速缩回去。

    那只小猫很调皮，偏偏不让她抓到，只留下一阵一阵的酥麻和暖意，在心口、在喉咙口、在耳尖蔓延开来。

    她感到自己的呼吸在双层面罩变得轻微而又急促，像是怕惊走了什么易碎的东西。

    她想抬手去按一按胸口，却怕被他看出来；想移开视线，又像被那双隔着面罩的眼睛黏住了，怎么也挪不开。

    这还是她人生第一次有这样的感觉。

    哪怕之前被迫体会柳菲菲和方豫相杵的感受时，都未曾有过。

    “嘟~~~”

    四周的喷嘴突然停止了喷淋，巨大的风噪瞬间停歇，风淋间内响起了嘟嘟声，内侧门头上的指示灯也从红色转为了绿色。

    “嗤~”

    风淋间的内门自动开启。

    宁雨的手“嗖”的从方豫的无尘服上收了回来，脸腾一下就红了。

    他没发现吧？没发现吧？

    无尘服裹得这么严实，什么都看不到，应该没发现。

    宁雨口中呼出的湿气，在面罩上凝结出一层薄雾，但又迅速被无尘服面罩顶部的自动送风系统抽走了。

    “方总，两位，这里就是曝光间，也就是现在人常说的光刻间。”

    张博士推开门，柳菲菲不由自主的眯了眯眼睛。

    这里的亮度比刚刚的前道工艺区低了不少，照明的颜色也从明亮的白光变成了昏暗的黄色光源。

    仔细看一下，好像四壁和天花也都是黄色的哑光漆面，像是用黄色隔绝了整个世界的色彩。

    光刻间内占地足足四五十平米的金属房子也同样是黄色的，而四周的墙角和金属房子的底座则是纯黑色的哑光金属板。

    在黄色金属房子的顶部，有一根塔状LED灯柱亮着红灯，同时塔柱上黄色的灯带也在间歇式的闪烁着。

    “光刻胶对蓝光敏感，为了避免意外曝光，这里的照明必须采用黄钠灯。”

    张博士解释了一句，看着面前两台亮着红灯的巨型设备叹了口气。

    “这条1400F的DUV线，是从Intel搞到的二手设备，制程理论上只能到40纳米，实际大概只能到60纳米。”

    “而且双工件台和KrF光源系统也有问题，迈国人简直就是丧心病狂，两条残废的产线居然还敢卖这么贵！”

    “我们准备先自己研究一下能不能修好，修不好的话，可能需要换件，还得找特殊渠道让阿斯麦的工程师私下来看看。”

    张博士义愤填膺，提到迈国人的时候，五官都皱到了一起，眉毛倒竖，咬牙切齿，显然深恶痛绝。

    宁雨好奇之余，也有点尴尬，庆幸还好自己进来时带了口罩，后来又穿上了无尘服，没让张博士认出来。

    她国籍也是迈国。

    这人怎么这么恨迈国？

    宁雨有点奇怪。

    她知道大周国内很多人会对迈国幸灾乐祸，但恨得这么咬牙切齿跟恨小倭子似的，可太少见了。

    这人是干什么的？说的什么我都没听懂……

    方豫闻言，让张博士指了一下这两台DUV损坏的位置，看似好奇的摸了摸。

    张博士想说这两台设备太精密，不能随意触碰，但刚张开嘴，才想到这特么是老板。

    东西都是人家买的，想摸就摸吧。

    好在方豫没摸多久，就松开了手。

    “我觉着这东西不是坏的啊，看起来挺正常的，再检测试试。”

    就算张博士穿着无尘服，透过面罩都能看到脑门上青筋直冒。

    你觉着？

    这玩意儿坏了就是坏了，没坏就是没坏，你觉着有个屁用？

    我还觉着柳菲菲应该对我一往情深呢，我觉着有用吗？

    看不到故障灯在那亮着吗？

    要不是看在你救了我的份上，我、我特么跳起来打你膝盖！

    “方总，DUV重启一次，至少要十几个小时，花费几十万的费用，我们可以确信……”

    张博士绞尽脑汁干巴巴的劝说道。

    张博士说的也不完全是托词，阿斯麦的DUV每次冷启动都要完全置换气体，含有氖、氩、氟的准分子激光光源气体混合物很贵，至少要大几千迈元。

    而且，DUV的激光腔寿命以脉冲数计数，每开关机一次，都会造成寿命的降低。

    最重要的是，光刻机这东西也有点玄学，有可能关机前只是双工件台和光源系统有问题，重新开机后，不知道哪里又会蹦出新的问题。

    “无非就是一点稀有气体的损失，问题不大。而且不需要冷启动，只需要在 HMI做模块复位，跑受影响子系统的qualification，二三十分钟就能结束，不会有什么大损失。”

    方豫伸手敲了敲面前这台DUV的黄色外壳。

    听了方豫的话，张博士不由得目瞪口呆。

    你懂光刻机？

    既然懂，怎么还说什么“我觉得”？

    “这……这……可是……”

    张博士一脑子浆糊，吭哧半天，也不知道该说什么好。

    “重新自检，看看故障能不能排除，不能排除，我们再想办法。”方豫抱着双臂，语气轻松，却充满着不可置疑的味道。

    “……那好吧。”张博士被迫妥协，叫来两个技术员打下手。

    三人先在HMI终端上登录工程师权限，屏幕上弹出一连串灰底白字的系统菜单。

    张博士伸手点进维护界面的子系统控制组群，找到了亮着红灯的工件台控制与光源模块。

    “先做工件台自检吧。”

    一通操作后，张博士点了一下对话框中的确认键，紧接着，就听到设备内部传来“咔、咔”几声电磁锁切换的清脆声响。

    双工件台下方的真空泵开始抽气，伴随着低沉的气流声，整个平台缓缓降到维护位置。

    宁雨震撼的看着这台大型设备的动作，充满了顶级机械工程的美感，感觉跟变形金刚似的。

    几秒后，工件台的干涉仪和温控系统开始依次重新初始化，HMI上的进度条缓缓前进。

    高精度激光干涉仪的红点在台面上来回扫描，反馈曲线在屏幕右侧实时抖动着趋于平稳。

    整个过程也就持续了三四分钟，屏幕一闪，原本显示故障的位置瞬间变成了“Stage OK”的字样，警告状态瞬间消失。

    消失了？

    张博士身体一震，不可思议的揉了揉眼睛。

    两名研究员也是一脸的惊诧，这台机器他们捣鼓了好久，双工件台仍旧只有一个能用，怎么现在居然莫名其妙的恢复了？

    故障排除靠重启？

    这不可能！

    拿到这台机器后，子模块复位做了这么多次，没有一次能自检通过的。

    怎么恢复的？

    你特么玩我呢吧？

    张博士深吸一口气：“再看一下光源系统。”

    两名研究员忙不迭的光源控制，开始执行光源系统的复位程序。

    远处的激光发生器先是发出一声低沉的嗡鸣，随后切换到高频的脉冲声，像有人在密集地敲打金属。

    紧接着，激光腔内发出气体注入的嗤嗤声，混合的特种气体通过气路调节阀依次导入，屏幕上的传感器读书开始快速的跳动起来。

    光束被导向光功率传感器与稳定度监测器，HMI上的曲线从最初的波动逐渐收敛成一条平滑的直线。

    十分钟后，屏幕正中央弹出一行绿色的大字：

    Laser Source: PASS。

    PASS！？

    张博士还以为自己看错了，不可思议的抬起手揉眼睛，却发现自己戴着全封闭的面罩，根本揉不到。

    这是怎么回事！？

    等等，刚才自己说了那么半天故障问题，还说什么需要换件之类的，不会让老板觉得自己是想坑他钱吧？

    张博士额角的冷汗一下子就冒出来了。

    “不错，不错。”方豫鼓了鼓掌，语带笑意，“刚刚可能是光源轻微老化和地面沉降导致工作台配平的问题，能一次通过自检，就算新机器也不容易做到，张博士果然名不虚传。”

    “不是……这和我没关系，我是说……”张博士在面罩里龇牙咧嘴的不知道该说什么好。

    “唉！要是什么时候国产光刻机能问世就好了，省得在尼德兰和迈国人面前受这个窝囊气。”

    千言万语，最终汇成了一声叹息。

    听到张博士的感叹，方豫意味深长的拍了拍他肩膀：“面包会有的，DUV会有的，EUV也会有的。”

    张博士胸膛起伏不定，好一阵才平息，苦笑一声：“太难了，光刻机只是其中一环而已，芯片产业上游六大原材料行业、前后道十二项关键设备，核心技术几乎全在别人手中。”

    方豫微微一笑。

    六大原材料和十二项关键设备？

    你是说信越化学和SUMCO的圆晶、JSR的光刻胶、关东化学的试剂、高卢Air Liquide的电子特种气体、JX倭矿金属的靶材、卡博特微电子的CMP抛光材料……吗？

    我特么都已经实现了AGI，正在向ASI迈进，还用担心这些技术？

    能通过互联网搞到手的，早就搞到手了。

    而那些不上网的关键制备工艺和配方，都是自己亲自去倭国和迈国拍的。

    比如光刻胶最大的供应商JSR，它的核心光刻胶配方与制备路线极少申请专利。

    真正核心内容被封存在内部数据库中，并且内部采用极严格的权限分级、配方拆分、核心步骤屏蔽制度，每个员工只掌握自己工序的那一点点信息。

    关键的调制技艺，更是只有两个老师傅掌握。

    最终光刻胶出厂前的调制工作，就是在一个可以完全封闭且没有任何监控设备的小黑屋内，由这两名基本算是签了卖身契的老师傅完成的。

    不只是JSR，光刻胶的另一巨头作坊TOK保密工作更加严格。

    这些技术，由于根本不在互联网上，是柚子无法拿到的。

    但这自然是难不倒方豫的。

    两天时间，他就给这些公司的所有小黑屋都装上了“镜花水月”的录影端，二十四小时通过位于柚子科技地下五百米的5号机房的“镜花水月”播放端进行直播。

    再由这里十几台3D光追摄像机，把水镜术的影像转为视频数据。

    相比2D的平面影像，镜花水月的全息投影几乎就是把对方的保密车间完整的搬到了这间地下五百米的机房。

    不只是JSR，包括TOK、信越、杜邦……每一家配方、每一笔反应曲线，全都被自动归档在柚子科技服务器中。

    方豫当然没傻到把这些技术免费公开给国内厂商，那纯粹是给自己找麻烦，受累不讨好。

    他要的，是学习。

    让橘子大模型将那些封闭的技术彻底学懂、拆透、重构，在算法架构中演化出更高效、更适配的技术路径。

    俗称洗技术。

    把技术洗白后，再结合每家客户的制程结构和资源约束，向柚子科技的核心企业用户提供定制化咨询服务。

    视客户规模和所属行业不同，收费也不同。

    有的客户，光是年度咨询服务费就超过数亿迈元

    其实这也不是方豫的首创，他走的基本就是瀛积电的路子。

    瀛积电给某些设备商提供工艺接口的定制咨询，单次收费就不比柚子科技的年费低。

    当然，不是所有客户都能成为柚子科技的核心企业用户，这个客户名单是经过筛选的，并且不会对外公布。

    筛选的标准就连柚子科技内部员工都不知道，完全是AI根据大数据做出的自我判定。

    这个体系已经运转了三四个月，时至今日，柚子科技核心客户中的芯片企业，基本都得到了AI的赋能。

    至少五家公司上马了不同的EUV相关项目。

    类似特气、靶材、CMP这类上流产业更是如雨后春笋般爆发。

    以大周这群卷逼的速度来说，多则两年，少则七八个月，部分芯片上游行业就能彻底进入战国时代。

    而这些上游产业建立后，EUV或更加先进的光刻机也就是水到渠成的事情了。

    产业的进步与爆发，是存在奇点的，在这个点之前，可能长达数年乃至数十年都是缓慢的发展甚至不发展，只是在积累能量。

    可一旦奇点出现，相关产业就会如同宇宙大爆发一样，积累的能量产生质变，轰然炸裂，散作漫天星辰。

    柚子科技，就是这个奇点。

    ——

    “这个张博士太有意思了，他的头好圆，眼睛也这么圆，两只眼睛还能同时向两边转，哈哈哈哈哈哈。”

    宁雨坐在车上，露着牙花子笑个不停。

    刚刚从洁净车间出来后，脱下一次性的无尘服时，那个张博士看到她，眼珠子都快瞪出来了。

    虽然宁雨对这种目光早就已经习以为常，但今天不知道怎么，特别的受用。

    方豫看了一眼宁雨，感觉牙花子看久了好像也不怎么突兀了。

    宁雨是柳菲菲的纯真态，笑的时候丝毫不掩饰自己的缺陷，记得她刚出道的时候，还被金大师说她太爱美了，顾及形象不敢笑，应该当时两个意识还没有完全分开。

    “对了，他为什么那么恨迈国人？”

    宁雨捋了捋耳边的头发，侧脸看着开车的方豫。

    方豫随口道：“要是就因为你开发出了比迈国公司更强的芯片技术，在去迈国开学术会议时被无缘无故以偷技术的名义关押刑讯了一年多，你也恨。”

    宁雨闻言不由得一愣。

    “你刚才不是说他的眼珠可以向两边分吗？知道怎么弄成这样的吗？”

    “让迈国人打的。”小说屋 www.xiaoshuoge.info